SMIC entwickelt 3-nm-Chip-Fertigungstechnologie

Laut Gizmochina soll SMIC eine 7-nm-Chiptechnologie der zweiten Generation entwickelt haben, mit der Smartphone-Chips hergestellt werden können. Doch damit nicht genug: Das Unternehmen forscht derzeit an der 5-nm- und 3-nm-Chipherstellungstechnologie.

SMIC hofft auf einen Durchbruch bei der Produktion von 3-nm-Chips mit DUV-Maschinen.

Die Forschung wird intern vom F&E-Team des Unternehmens durchgeführt und von Co-CEO Liang Mong-Song geleitet, einem renommierten Halbleiterwissenschaftler, der bei TSMC und Samsung gearbeitet hat. Er gilt als einer der klügsten Köpfe der Halbleiterindustrie.

Dies bedeutet, dass die aktuellen Einschränkungen den Fortschritt von SMIC bei der Entwicklung fortschrittlicherer Chips als 7 nm nicht vollständig stoppen können. Es verlangsamte lediglich das Wachstum des Unternehmens, obwohl eine Kombination von Faktoren SMIC half, die Herausforderungen zu meistern.

SMIC ist mittlerweile der fünftgrößte Auftragschiphersteller der Branche. Das Unternehmen verlor den Zugriff auf die modernsten Werkzeuge zur Waferherstellung, was seine Fähigkeit zur Einführung neuer Prozesstechnologien stark einschränkte. Aufgrund der US-Sanktionen konnte das Unternehmen von ASML keine Maschinen für die Extrem-Ultraviolett-Lithografie (EUV) beziehen und beschränkte sich für den 7-nm-Chip-Herstellungsprozess der zweiten Generation auf die Tief-Ultraviolett-Lithografie (DUV).

Die Lithografiemaschine ASML Twinscan NXT:2000i ist das beste verfügbare Werkzeug von SMIC. Das Gerät kann Produktionsauflösungen von bis zu 38 nm ätzen – ein Präzisionsgrad, der ausreicht, um Formen für 7-nm-Chips herzustellen. ASML und IMEC gaben an, dass zur Herstellung von 5-nm- und 3-nm-Chips eine Fertigungsauflösung von 30–32 nm bzw. 21–25 nm erforderlich sei.

Um eine Chipherstellung unter 7 nm ohne EUV zu erreichen, muss SMIC einen komplexen Multi-Patterning-Prozess anwenden, der die Ausbeute beeinträchtigen und die Fertigungsanlagen verschleißen kann. Auch die Kosten für die Verwendung mehrerer Vorlagen sind recht hoch. Trotzdem ist SMIC weiterhin entschlossen, auf die 3-nm-Chipproduktion umzusteigen. Wenn dies gelingt, wäre die Produktion von 3-nm-Chips ausschließlich unter Verwendung von DUV ein wichtiger Meilenstein für den chinesischen Hersteller.

Quellenlink: https://thanhnien.vn/smic-phat-trien-cong-nghe-san-xuat-chip-3nm-185231224142322929.htm