9월 초, 네덜란드 외무부 장관 레이네트 클레버는 수출 통제에 대한 변경을 발표하여 반도체 기계 제조업체 ASML이 중국 고객에게 DUV 1970i 및 1980i 포토리소그래피 기계를 판매하려면 라이선스를 신청해야 한다고 밝혔습니다.

또한 ASML은 이전에 중국 고객에게 판매된 내장형 리소그래피 장비에 대한 서비스 라이선스를 취득하고, 예비 부품 및 소프트웨어 업데이트를 제공해야 합니다.

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네덜란드에 있는 ASML 본사 및 공장. 사진: 블룸버그

이러한 조치는 네덜란드의 규칙을 2023년 11월에 발효될 예정인 더욱 엄격한 미국의 무역 제한에 맞춰 조정하려는 것으로, 국가 안보상의 이유로 중국을 겨냥하고 있습니다. 워싱턴 제한 사항에는 1970i와 1980i 사진석판 인쇄 기계가 포함됩니다.

중국 상무부는 "중국은 이에 단호히 반대한다"고 밝혔다.

ASML은 성명을 통해 규제 변경은 기술적인 문제이며 올해의 재무 전망에 영향을 미치지 않는다고 밝혔습니다.

반도체 공장의 생산성을 유지하려면 유지관리 서비스가 중요합니다. 기계 고장 발생 시 유지보수 엔지니어는 24시간 연중무휴 대기해야 합니다. 반도체 전문가에 따르면, 중국에서는 1980i가 유연성이 뛰어나 많은 칩 공장에서 신뢰를 받는 기기라고 합니다.

ASML에 가까운 소식통에 따르면, 칩 산업에 대한 유지보수 서비스에 대한 접근을 잃는 것으로 인한 단기적 영향은 엄청납니다. ASML 중국 지사장인 센 보(Shen Bo)는 2023년 9월 China Daily와의 인터뷰에서 ASML이 1988년 시장에 진출한 이래로 리소그래피 도구와 검사 솔루션을 포함해 1,000대 이상의 기계를 설치했다고 말했습니다. ASML은 네덜란드의 수출 제한에 따라 얼마나 많은 기계가 생산되는지 공개하지 않았습니다.

하지만 유지관리는 새로운 첨단 평판 인쇄 기계의 부족에 비하면 더 작은 문제입니다. ASML에 가까운 소식통에 따르면, 유지보수를 실시하고 예비 부품을 찾는 일은 처음부터 리소그래피 시스템을 만드는 것보다 비교적 쉽다고 한다.

2023년 수익 기준으로 ASML의 두 번째로 큰 시장인 중국 본토는 2019년부터 리소그래피 시스템에 대한 수출 통제가 강화되었습니다.

네덜란드는 ASML이 7nm 이하의 칩 제조에 사용되는 최첨단 EUV 리소그래피 기계와 2100i, 2050i, 2000i, 1970i, 1980i를 포함한 임베디드 DUV 리소그래피 기계를 허가 없이 중국에 판매하는 것을 금지했습니다.

네덜란드 기술 잡지인 Bits & Chips의 편집자 폴 반 게르벤에 따르면, 블랙리스트에 오른 중국 기업과 관련된 기존 라이센스는 갱신되지 않을 것이며 향후 라이센스 신청은 거부될 것입니다. Van Gerven은 건식 DUV 프린터(복잡한 회로 기판을 실리콘 웨이퍼에 인쇄할 때 해상도를 높이기 위해 물 대신 공기를 사용하는 이전 세대 기계)는 현재 제한이 없다고 덧붙였습니다.

2분기에 ASML의 중국 본토로의 선적액은 23억 5천만 유로에 달했는데, 이는 전 세계 매출의 거의 절반에 해당합니다. 2023년 연례 보고서에 따르면 이 회사는 대량의 미처리 주문으로 인해 중국에서 주문의 50%만 완료할 수 있는 것으로 나타났습니다.

(SCMP에 따르면 실리콘)