9月初旬、オランダの対外貿易開発大臣レイネッテ・クレバー氏は輸出管理の変更を発表し、半導体製造装置メーカーのASMLに対し、DUV 1970iおよび1980iフォトリソグラフィー装置を中国の顧客に販売するためにライセンスを申請するよう義務付けた。

さらに、ASMLは、これまで中国の顧客に販売していた組み込みリソグラフィー装置について、サービスライセンスを取得し、スペアパーツやソフトウェアのアップデートを提供する必要がある。

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オランダにあるASML本社と工場。写真：ブルームバーグ

この動きは、国家安全保障上の理由で中国を標的とした、2023年11月に発効予定の米国のより厳しい貿易制限にオランダの規則を合わせることを目的としている。ワシントンの規制には、1970i および 1980i フォトリソグラフィー マシンが含まれます。

中国商務省は「中国はこれに断固反対する」と断言した。

ASMLは声明の中で、規制変更は技術的なものであり、今年の財務見通しには影響しないと述べた。

半導体工場の生産性を維持するためには、メンテナンスサービスが不可欠です。メンテナンスエンジニアは、機械の故障に備えて 24 時間 365 日待機する必要があります。半導体専門家によると、中国では、1980i はその柔軟性から、多くのチップ工場で信頼されているデバイスです。

ASMLに近い情報筋によると、半導体業界にとって保守サービスへのアクセスを失うことによる短期的な影響は甚大だという。 ASML中国のディレクターであるシェン・ボー氏は、2023年9月にチャイナデイリーとのインタビューで、1988年に市場に参入して以来、ASMLはリソグラフィーツールや検査ソリューションなど1,000台以上の機械をこの地に設置してきたと語った。 ASMLは、オランダの輸出規制の対象となる機械の数を明らかにしなかった。

しかし、メンテナンスの問題は、新しい高度なリソグラフィー装置の不足に比べれば小さな問題です。 ASMLに近い筋によると、リソグラフィーシステムをゼロから構築するよりも、メンテナンスやスペアパーツの調達が比較的容易だという。

2023年までにASMLの売上高第2位の市場となる中国本土は、2019年以来、リソグラフィーシステムに対する輸出規制が強化されている。

オランダは、ASMLが7nm未満のチップの製造に使用される最先端のEUVリソグラフィー装置と、2100i、2050i、2000i、1970i、1980iなどの組み込み型DUVリソグラフィー装置をライセンスなしに中国に販売することを禁止した。

オランダのテクノロジー雑誌「Bits & Chips」の編集者、ポール・ファン・ゲルベン氏によると、ブラックリストに載った中国企業に関連する既存のライセンスは更新されず、将来のライセンス申請も拒否されるという。ヴァン・ガーベン氏はさらに、乾式DUVプリンター（シリコンウエハー上に複雑な回路基板を印刷する際に水の代わりに空気を使用して解像度を向上させる旧世代の機械）は現在制限されていないと付け加えた。

第2四半期、ASMLの中国本土への出荷額は合計23億5000万ユーロで、同社の世界売上高のほぼ半分に相当した。 2023年の年次報告書によると、同社は大量の受注残のため、中国からの注文の50％しか完了できないという。

（SCMP、シリコンによると）